| 序号 | 股东名称 | 持股数量 | 流通% | 更新日期 |
| 1 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 394272171股 | 25.1831% | 2025-03-31 |
| 2 | 中国工商银行股份有限公司-易方达创业板交易型开放式指数证券投资基金 | 30189889股 | 1.9283% | 2025-03-31 |
| 3 | 兴业银行股份有限公司-华夏中证机器人交易型开放式指数证券投资基金 | 23045000股 | 1.4719% | 2025-03-31 |
| 4 | 中国农业银行股份有限公司-中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 16119906股 | 1.0296% | 2025-03-31 |
| 5 | 厦门优采供应链管理有限公司 | 9948900股 | 0.6355% | 2025-03-31 |
| 6 | 国泰君安证券股份有限公司-天弘中证机器人交易型开放式指数证券投资基金 | 9248220股 | 0.5907% | 2025-03-31 |
| 7 | 沈阳市科技创新服务中心 | 8020195股 | 0.5123% | 2025-03-31 |
| 8 | 香港中央结算有限公司 | 7920200股 | 0.5059% | 2025-03-31 |
| 9 | 方天成 | 7832800股 | 0.5003% | 2025-03-31 |
| 10 | 曲道奎 | 6637525股 | 0.424% | 2025-03-31 |
| 11 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 394272171股 | 25.1831% | 2024-09-30 |
| 12 | 中国农业银行股份有限公司-中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 21181806股 | 1.3529% | 2024-09-30 |
| 13 | 香港中央结算有限公司 | 14222587股 | 0.9084% | 2024-09-30 |
| 14 | 中国通用技术(集团)控股有限责任公司 | 12000000股 | 0.7665% | 2024-09-30 |
| 15 | 方天成 | 10623863股 | 0.6786% | 2024-09-30 |
| 16 | 曲道奎 | 10124400股 | 0.6467% | 2024-09-30 |
| 17 | 沈阳市科技创新服务中心 | 8020195股 | 0.5123% | 2024-09-30 |
| 18 | 大成基金-农业银行-大成中证金融资产管理计划 | 6502298股 | 0.4153% | 2024-09-30 |
| 19 | 中国科学院沈阳分院 | 6292000股 | 0.4019% | 2024-09-30 |
| 20 | 蒋成美 | 5931120股 | 0.3788% | 2024-09-30 |
| 21 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 394272171股 | 25.1831% | 2024-06-30 |
| 22 | 中国农业银行股份有限公司-中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 21181806股 | 1.3529% | 2024-06-30 |
| 23 | 中国通用技术(集团)控股有限责任公司 | 18829257股 | 1.2146% | 2024-06-30 |
| 24 | 方天成 | 10623863股 | 0.6853% | 2024-06-30 |
| 25 | 沈阳市科技创新服务中心 | 8020195股 | 0.5174% | 2024-06-30 |
| 26 | 香港中央结算有限公司 | 7950591股 | 0.5129% | 2024-06-30 |
| 27 | 大成基金-农业银行-大成中证金融资产管理计划 | 6502298股 | 0.4194% | 2024-06-30 |
| 28 | 中国科学院沈阳分院 | 6292000股 | 0.4059% | 2024-06-30 |
| 29 | 蒋成美 | 5931120股 | 0.3826% | 2024-06-30 |
| 30 | 孙鹏程 | 5155034股 | 0.3325% | 2024-06-30 |
| 31 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 394272171股 | 26.143% | 2024-03-31 |
| 32 | 中国通用技术(集团)控股有限责任公司 | 20708257股 | 1.373% | 2024-03-31 |
| 33 | 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 13546906股 | 0.898% | 2024-03-31 |
| 34 | 香港中央结算有限公司 | 12911391股 | 0.856% | 2024-03-31 |
| 35 | 方天成 | 10623863股 | 0.704% | 2024-03-31 |
| 36 | 沈阳市科技创新服务中心 | 8020195股 | 0.532% | 2024-03-31 |
| 37 | 大成基金－农业银行－大成中证金融资产管理计划 | 6502298股 | 0.431% | 2024-03-31 |
| 38 | 中国科学院沈阳分院 | 6292000股 | 0.417% | 2024-03-31 |
| 39 | 蒋成美 | 5931120股 | 0.393% | 2024-03-31 |
| 40 | 孙鹏程 | 5155034股 | 0.342% | 2024-03-31 |
| 41 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 394272171股 | 25.969% | 2023-12-31 |
| 42 | 中国通用技术(集团)控股有限责任公司 | 37223157股 | 2.452% | 2023-12-31 |
| 43 | 香港中央结算有限公司 | 11488097股 | 0.757% | 2023-12-31 |
| 44 | 方天成 | 10623863股 | 0.7% | 2023-12-31 |
| 45 | 曲道奎 | 10124400股 | 0.667% | 2023-12-31 |
| 46 | 沈阳市重要技术创新研发与科技成果转化中心 | 8020195股 | 0.528% | 2023-12-31 |
| 47 | 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 6767006股 | 0.446% | 2023-12-31 |
| 48 | 大成基金－农业银行－大成中证金融资产管理计划 | 6502298股 | 0.428% | 2023-12-31 |
| 49 | 中国科学院沈阳分院 | 6292000股 | 0.414% | 2023-12-31 |
| 50 | 蒋成美 | 5931120股 | 0.391% | 2023-12-31 |
| 51 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 394272171股 | 25.969% | 2023-09-30 |
| 52 | 中国通用技术(集团)控股有限责任公司 | 37223157股 | 2.452% | 2023-09-30 |
| 53 | 香港中央结算有限公司 | 23357537股 | 1.538% | 2023-09-30 |
| 54 | 方天成 | 10623863股 | 0.7% | 2023-09-30 |
| 55 | 曲道奎 | 10124400股 | 0.667% | 2023-09-30 |
| 56 | 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 8999706股 | 0.593% | 2023-09-30 |
| 57 | 沈阳市重要技术创新研发与科技成果转化中心 | 8020195股 | 0.528% | 2023-09-30 |
| 58 | 大成基金－农业银行－大成中证金融资产管理计划 | 6502298股 | 0.428% | 2023-09-30 |
| 59 | 中国科学院沈阳分院 | 6292000股 | 0.414% | 2023-09-30 |
| 60 | 蒋成美 | 5901120股 | 0.389% | 2023-09-30 |
| 61 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 394272171股 | 25.969% | 2023-06-30 |
| 62 | 中国通用技术(集团)控股有限责任公司 | 37223157股 | 2.452% | 2023-06-30 |
| 63 | 易方达基金－中央汇金资产管理有限责任公司－易方达基金－汇金资管单一资产管理计划 | 34293380股 | 2.259% | 2023-06-30 |
| 64 | 香港中央结算有限公司 | 12697881股 | 0.836% | 2023-06-30 |
| 65 | 方天成 | 10623863股 | 0.7% | 2023-06-30 |
| 66 | 曲道奎 | 10124400股 | 0.667% | 2023-06-30 |
| 67 | 沈阳市重要技术创新研发与科技成果转化中心 | 8020195股 | 0.528% | 2023-06-30 |
| 68 | 大成基金－农业银行－大成中证金融资产管理计划 | 6821998股 | 0.449% | 2023-06-30 |
| 69 | 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 6729906股 | 0.443% | 2023-06-30 |
| 70 | 中融国际信托有限公司－中融－日进斗金22号证券投资单一资金信托 | 6564140股 | 0.432% | 2023-06-30 |
| 71 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 394272171股 | 26.127% | 2023-03-31 |
| 72 | 中国通用技术(集团)控股有限责任公司 | 37223157股 | 2.467% | 2023-03-31 |
| 73 | 易方达基金－中央汇金资产管理有限责任公司－易方达基金－汇金资管单一资产管理计划 | 34293380股 | 2.272% | 2023-03-31 |
| 74 | 香港中央结算有限公司 | 32654392股 | 2.164% | 2023-03-31 |
| 75 | 方天成 | 10623863股 | 0.704% | 2023-03-31 |
| 76 | 曲道奎 | 10124400股 | 0.671% | 2023-03-31 |
| 77 | 沈阳市重要技术创新研发与科技成果转化中心 | 8020195股 | 0.531% | 2023-03-31 |
| 78 | 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 7286506股 | 0.483% | 2023-03-31 |
| 79 | 蒋成美 | 6894662股 | 0.457% | 2023-03-31 |
| 80 | 大成基金－农业银行－大成中证金融资产管理计划 | 6821998股 | 0.452% | 2023-03-31 |
| 81 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 394272171股 | 26.172% | 2022-12-31 |
| 82 | 中国通用技术(集团)控股有限责任公司 | 37223157股 | 2.471% | 2022-12-31 |
| 83 | 易方达基金－中央汇金资产管理有限责任公司－易方达基金－汇金资管单一资产管理计划 | 34293380股 | 2.276% | 2022-12-31 |
| 84 | 中欧基金－农业银行－中欧中证金融资产管理计划 | 11745513股 | 0.78% | 2022-12-31 |
| 85 | 香港中央结算有限公司 | 11740378股 | 0.779% | 2022-12-31 |
| 86 | 方天成 | 10623863股 | 0.705% | 2022-12-31 |
| 87 | 中国农业银行股份有限公司－中证500交易型开放式指数证券投资基金 | 10341006股 | 0.686% | 2022-12-31 |
| 88 | 沈阳市重要技术创新研发与科技成果转化中心 | 8020195股 | 0.532% | 2022-12-31 |
| 89 | 辽宁科发实业有限公司 | 7040000股 | 0.467% | 2022-12-31 |
| 90 | 蒋成美 | 6894662股 | 0.458% | 2022-12-31 |
| 91 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 394272171股 | 26.172% | 2022-09-30 |
| 92 | 易方达基金－中央汇金资产管理有限责任公司－易方达基金－汇金资管单一资产管理计划 | 34293380股 | 2.276% | 2022-09-30 |
| 93 | 沈阳盛京金控投资集团有限公司 | 23913045股 | 1.587% | 2022-09-30 |
| 94 | 中国通用技术(集团)控股有限责任公司 | 13310112股 | 0.884% | 2022-09-30 |
| 95 | 曲道奎 | 13176900股 | 0.875% | 2022-09-30 |
| 96 | 辽宁科发实业有限公司 | 12500000股 | 0.83% | 2022-09-30 |
| 97 | 中欧基金－农业银行－中欧中证金融资产管理计划 | 11745513股 | 0.78% | 2022-09-30 |
| 98 | 方天成 | 10623863股 | 0.705% | 2022-09-30 |
| 99 | 香港中央结算有限公司 | 8051946股 | 0.534% | 2022-09-30 |
| 100 | 沈阳市重要技术创新研发与科技成果转化中心 | 8020195股 | 0.532% | 2022-09-30 |
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